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我们见到的大部分真空包装机的真空分子
发布时间:2019-03-09

      我们见到的大部分真空包装机的真空分子在高压强侧表面上离解成原子形式扩散通 过金属,在真空侧表面上重新结合成分子后解吸。氢气的扩散率 最大,因而是经金属渗透的主要成份。氢气经几种金属的 渗透系数K与温度倒数1/T间的实验关系。

因为金属系统的K与 (p)1/s有关,所以渗透系数的单位是mz。(Pa)l/2。S-10 ,氮经把的渗透率约比经其它任何金属高二个t 级。因为其它气体经把的渗透可以忽略,因而把常被用来提纯氢 气,通常以加热管的形式使用。组气经镍和铁的渗透率也相当 高,在压强低于lOPa时,高温下级气的渗透率高于同样条件下氮 气经石英玻瑞的渗透率。铁镍钻型合金有类似的高渗 透率LE]0级气对不锈钢的渗透率比对其它合金低二个ri级,然而 由于大气内氢气分压强之故,若要达到超高真空,就不能忽略氢 气对不锈钢容器壁的渗透。级气从大气环境到真空容器的流入量, 通常用半径为16mm壁厚为Im二的封离金属球体来评定。不同金属球形容器内级气压强随时间的变化关系。尽管大气 内级气分压强很低(5 x 10-'Pa ),但是在室温下容器内压强增 大到10,对于铁来说不到1小时,对于不锈钢约二、三夭, 对于铜约1百年。温度升高,渗透率明显增大。若不锈钢球体供烤到450t,则不到1秒钟压强就增大到10'`Pa。 对于铁,氢气的流入量还会由于水或潮湿大气和外壁化学反 应产生了过t氢气而增大。钢和铝外壁的氧化层有阻止氢气渗透 的作用,可能减少几个量级。

其它气体经大多数金属的渗透率至少比氮小一个且级,因而 可以忽略。但是,氧经银的渗透却很大,这是因为氧气在银内溶 解度很高之故。因此,常用加热的银管来对真空系统充暇气,获 得的载气达到光谱纯。为了减少氧气渗透,系统外壳应进免使用 银焊料钎焊。

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